解放后的六十年代中末期，本溪輕化工研究所開始對臭氧發生技術和應用于腐植酸生產的研究。上海輕工研究設計院對臭氧發生器及應用于洋茉莉醛生產，取代重鉻酸鉀氧化劑，降低環境的污染，并在上海香料二廠投產。1976年天津香料廠引進日本尼普臭氧發生單元，但電耗較大，易擊穿。

    在此期間，中國的一些院校及科研單位，在前人研究的基礎上和借鑒國外臭氧發生器的經驗成果，分別開展研究工作，開創了我國對臭氧發生技術和設備制造技術研究的先河。

1973年初，清華大學王占生、沈英鵬、張漢升等研制了臥式外置玻璃管系列臭氧發生器，相繼在北京順義環保廠、廣東肇慶電子研究所、校內設備儀器廠等單位投產。

1973年，上海華東化工學院為解決將興建的上海石油化工總廠的廢水處理問題，在上海市環保辦、科委的支持下成立上海市臭氧協作組，開展臭氧發生技術與應用的研究。主其中，華東化工學院為組長單位，主要參加人：魏興義、張大年、吳生等。成員單位：上海石化廠研究院，參加人員有吳梁材、李士華、王雄等；上海輕工研究院參加人員付子龍；上海龍華刀具廠（上海環保設備廠前身），參加人員有周為民、周新、許傳；上海交通大學管喜康；其它參與單位還有上海玻璃廠、上海試劑五廠、上海香料二廠、上海第二印染廠、上市第二空壓機廠、上海情報所、上海自來水公司、南市水廠等單位。以上單位和人員經過分工，分別對臭氧發生單元介電體、內涂層、變壓器、脫水吸附劑、無油空壓機、無熱再生干燥機及臭氧在水中接觸氧化塔等進行研究，并在處理石油化工廠廢水、印染廢水脫色、丙烯腈、腈綸生產廢水、重油裂解廢水、飲用水的處理等應用研究。

1974年，張漢升與二機部二院、石油部煉油設計院合作研制成功變壓吸附無熱再生干燥器，臭氧系統的重要空氣干燥處理設備達到設計、生產國產化水平。

1976年后，北京環保所馬世豪、胡正操工程師，參照了美國Tii公司資料研究外管為玻璃管介質，高壓電極為不銹鋼管的立式臭氧發生器，在北京玉淵潭環保廠投產并應用于包頭自來水廠飲用水處理等。

以上三各單位對臭氧發生技術和設備制造技術的開拓性研究，是中國臭氧技術發展的基石，技術成果相繼在一些生產企業采用，在北京、上海、泰興等地建立了中國第一批專業生產臭氧發生器的企業。

上海環保設備廠在上海臭氧協作組小試和工業試驗的基礎上，1978年由周為民負責具體工作，生產出臭氧發生器系列產品，并研制成功1-2kg/h的工頻臭氧發生器，1979年9月和1980年10月，由上海市科委、環保局組織進行測定，邀請清華大學等有關專家召開鑒定會。

泰興環保廠李愛成于1980年左右開始生產臭氧發生器及高速攪拌臭氧吸收機，技術上得到華東化工學院的支持，后又轉讓了清華大學技術同時生產兩種類型的臭氧發生器技術，于80年代初也生產出了1kg/h的工頻臭氧發生器。

在其后的二十多年中，國內化工、香料、飲用水處理及廢水處理所需求的國產大產量臭氧發生器，基本上靠上海、泰興兩家環保設備廠來提供產品，為中國臭氧行業的發展作出了較大的貢獻。

1979年4月上海交通大學管喜康老師與華東化工學院合作進行機械高壓脈沖臭氧發生系統的研究，空氣源生產每公斤臭氧的電耗僅為8～10kw·h，該論文在日本高壓電討論會上受到與會專家的高度評價。

1979年12月由華東化工學院研究、上海環保設備廠制造車載式臭氧發生和廢水、廢氣、飲用水制備多功能系統，應用于系統廢水處理、常用消毒劑解毒和戰時飲用水供應（合作單位：海軍東海艦隊、南京軍區、防化研究院）。