利用直流電源電解含氧電解質產生臭氧氣體的方法，其歷史同發現臭氧一樣悠久。八十年代以前，電解液多為水內填加酸、鹽類電解質，電解面積比較小，臭氧產量很小，運行費用很高。由于人們在電極材料、電解液與電解機理、過程方面作了大量的研究工作，電解法臭氧發生技術取得了很大進步。近期發展的SPE（固態聚合物電解質）電極與金屬氧化催化技術，使用純水電解得到14%以上的高濃度臭氧，使電化學法臭氧發生器技術向前邁進了一大步。

    日本某公司向市場推出了120gO₃/h的電解臭氧發生器，電耗150kw·h/kgO₃，使這種類型產品達到了工業化應用規模。我國武漢大學早期開展了電解臭氧技術的研究，上海唐鋒電器公司研究開發了電解法臭氧發生器系列產品，臭氧濃度可達20%，最大臭氧產量為100g/h。該產品使用純水電解產生臭氧后在機內直接與水混合形成4-20mg/L高濃度臭氧水，其規格為高濃度臭氧水供水量由60L/h到5000L/h。

     電解法臭氧發生器具有臭氧濃度高、成分純凈、在水中溶解度高的優勢，在醫療、食品加工與養殖業及家庭方面具有廣泛應用前景，在降低成本與電耗條件下將與目前應用廣泛的電暈放電法臭氧發生器形成激烈競爭。